Enhancing the Shock Response Performance of Micromachined Silicon Resonant Accelerometers by Electrostatic Active Damping Control

This paper presents a micromachined silicon resonant accelerometer based on electrostatic active damping control, which can improve the shock response performance of the accelerometer. In the accelerometer, an electrostatic active damping structure and damping control circuit are designed to improve...

முழு விளக்கம்

நூற்பட்டியல் விவரங்கள்

முதன்மை ஆசிரியர்கள்:	Libin Huang, Kai Jiang, Peng Wang, Meimei Zhang, Xukai Ding, Hongsheng Li
வடிவம்:	Artigo
மொழி:	Inglês
வெளியிடப்பட்டது:	MDPI AG 2021-12-01
தொடர்:	Micromachines
பொருள்கள்:	resonant accelerometer electrostatic active damping control shock response performance
ஆன்லைன் அணுகல்:	https://www.mdpi.com/2072-666X/12/12/1548
குறிச்சொற்கள்:	குறிச்சொல்லை சேர்க்கவும் டாக்‌ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!