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Modeling the Piezoelectric Cantilever Resonator with Different Width Layers

The piezoelectric cantilever resonator is used widely in many fields because of its perfect design, easy-to-control process, easy integration with the integrated circuit. The tip displacement and resonance frequency are two important characters of the piezoelectric cantilever resonator and many mode...

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Principais autores: Zhenxi Liu, Jiamin Chen, Xudong Zou
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: MDPI AG 2020-12-01
coleção:Sensors
Assuntos:
piezoelectric cantilever
different width layers
tip displacement
resonance frequency
Acesso em linha:https://www.mdpi.com/1424-8220/21/1/87
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