Exchangeable Miniaturized Mass Spectrometer Chip Based on Silicon Structures

This paper reports a design of an exchangeable miniaturized mass spectrometry chip using spring-loaded pins and O-rings for electrical and fluidic connections. This planar microelectromechanical system (MEMS)-chip works with 300 µm high silicon structures between two borosilicate glasses and has a s...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής

Κύριοι συγγραφείς:	Stephan Westerdick, Patrick Hermanns, Benedikt Janßen, Thomas Musch
Μορφή:	Artigo
Γλώσσα:	Inglês
Έκδοση:	MDPI AG 2018-11-01
Σειρά:	Proceedings
Θέματα:	micro-mass spectrometer MEMS-Chip silicon-chip spring-loaded pin o-ring LiGa-technology travelling wave
Διαθέσιμο Online:	https://www.mdpi.com/2504-3900/2/13/1071
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!