কিউআর কোড

On the Dependency of the Electromechanical Response of Rotary MEMS/NEMS on Their Embedded Flexure Hinges’ Geometry

This paper investigates how the electromechanical response of MEMS/NEMS devices changes when the geometrical characteristics of their embedded flexural hinges are modified. The research is dedicated particularly to MEMS/NEMS devices which are actuated by means of rotary comb-drives. The electromecha...

সম্পূর্ণ বিবরণ

সংরক্ষণ করুন:
প্রধান লেখক: Alessio Buzzin, Lorenzo Giannini, Gabriele Bocchetta, Andrea Notargiacomo, Ennio Giovine, Andrea Scorza, Rita Asquini, Giampiero de Cesare, Nicola Pio Belfiore
বিন্যাস: Artigo
ভাষা:Inglês
প্রকাশিত: MDPI AG 2023-12-01
মালা:Micromachines
বিষয়গুলি:
MEMS
NEMS
comb-drives
electrostatic actuator
flexure hinge
compliant
অনলাইন ব্যবহার করুন:https://www.mdpi.com/2072-666X/14/12/2229
ট্যাগগুলো: ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!

অনুরূপ উপাদানগুলি