High Performance On-Chip Energy Storage Capacitors with Plasma-Enhanced Atomic Layer-Deposited Hf<sub>0.5</sub>Zr<sub>0.5</sub>O<sub>2</sub>/Al-Doped Hf<sub>0.25</sub>Zr<sub>0.75</sub>O<sub>2</sub> Nanofilms as Dielectrics
Concurrently achieving high energy storage density (ESD) and efficiency has always been a big challenge for electrostatic energy storage capacitors. In this study, we successfully fabricate high-performance energy storage capacitors by using antiferroelectric (AFE) Al-doped Hf<sub>0.25</sub>Zr<sub>0...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակներ: | , , , , , , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Artigo |
| Լեզու: | Inglês |
| Հրապարակվել է: |
MDPI AG
2023-05-01
|
| Շարք: | Nanomaterials |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | https://www.mdpi.com/2079-4991/13/11/1765 |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
