A Comprehensive Review of Optical Metrology and Perception Technologies

Optical metrology and perception technologies employ light as an information carrier to enable non-contact, high-precision measurement of geometry, dynamics, and material properties. They are widely deployed in industrial and consumer domains, from nanoscale defect inspection in semiconductor manufa...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Shuonan Shan, Fangyuan Zhao, Zinan Li, Linbin Luo, Xinghui Li
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	MDPI AG 2025-11-01
سلاسل:	Sensors
الموضوعات:	optical metrology perception technology interferometry imaging spectroscopy hybrid optical systems
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.mdpi.com/1424-8220/25/22/6811
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!