Fabrication of Buried Microchannels with Almost Circular Cross-Section Using HNA Wet Etching
In this paper, a novel fabrication process for the realization of large, suspended microfluidic channels is presented. The method is based on Buried Channel Technology and uses a mixture of HF, HNO<sub>3</sub>, and water etchant, which has high selectivity between the silicon substrate and the silic...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2024-09-01
|
| தொடர்: | Micromachines |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/2072-666X/15/10/1230 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|