Thermal Conductivity Gas Sensors for High-Temperature Applications
This paper describes a fast and flexible microfabrication method for thermal conductivity gas sensors useful in high-temperature applications. The key parts of the sensor, the microheater and the package, were fabricated from glass-coated platinum wire and the combination of laser micromilling (abla...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI AG
2024-01-01
|
| سلاسل: | Micromachines |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.mdpi.com/2072-666X/15/1/138 |
| الوسوم: |
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|