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In-Situ Temperature Measurement on CMOS Integrated Micro-Hotplates for Gas Sensing Devices

Metal oxide gas sensors generally need to be operated at elevated temperatures, up to and above 400 °C. Following the need for miniaturization of gas sensors and implementation into smart devices such as smartphones or wireless sensor nodes, recently complementary metal-oxide-semiconductor (CMO...

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Detalhes bibliográficos
Principais autores: Marco Deluca, Robert Wimmer-Teubenbacher, Lisa Mitterhuber, Johanna Mader, Karl Rohracher, Marco Holzer, Anton Köck
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: MDPI AG 2019-02-01
coleção:Sensors
Assuntos:
Acesso em linha:https://www.mdpi.com/1424-8220/19/3/672
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