Finite Element Study for Mass Sensitivity of Love Surface Acoustic Wave Sensor with Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>-SiO<sub>2</sub> Double-Covered Waveguiding Layer
Love surface acoustic wave (L-SAW) sensors are miniaturized, easy to integrate, and suitable for detection in liquid environments. In this paper, an L-SAW sensor with a thin Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>-SiO<sub>2</sub> double-covered layer was proposed for samples with small mass loads. The output re...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակներ: | , , , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Artigo |
| Լեզու: | Inglês |
| Հրապարակվել է: |
MDPI AG
2023-08-01
|
| Շարք: | Micromachines |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | https://www.mdpi.com/2072-666X/14/9/1696 |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|