Comparison of AlN vs. SIO<sub>2</sub>/LiNbO<sub>3</sub> Membranes as Sensitive Elements for the SAW-Based Acceleration Measurement: Overcoming the Anisotropy Effects
We propose the use of aluminum nitride (AlN) membranes acting as sensitive elements for the surface acoustic wave (SAW)-based acceleration measurement. The proposed solution is compared against existing prototypes based on the use of quartz (SiO<sub>2</sub>)/lithium niobate (LiNbO<sub>3</sub>) membr...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI AG
2020-01-01
|
| মালা: | Sensors |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://www.mdpi.com/1424-8220/20/2/464 |
| ট্যাগগুলো: |
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|