A Robust Infrared Transducer of an Ultra-Large-Scale Array
A robust micro-electro-mechanical systems (MEMS) infrared thin film transducer of an ultra-large-scale array was proposed and fabricated on a 4-inch silicon wafer. The silicon substrate and micro cavities were introduced. This novel transducer had excellent mechanical stability, time response, and s...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , , , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2020-11-01
|
| தொடர்: | Sensors |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/1424-8220/20/23/6807 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|