Mass Spectra Fitting as Diagnostic Tool for Magnetron Plasmas Generated in Ar and Ar/H₂ Gases with Tungsten Targets

In this work, we describe an ion mass spectra processing method from plasmas generated in Ar and Ar/H₂ gases in contact with tungsten surfaces. For this purpose, advanced model functions, i.e., those suitable for fitting the experimental mass peak profiles, are used. In addition, the peak...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Những tác giả chính:	Cristina Craciun, Silviu Daniel Stoica, Bogdana Maria Mitu, Tomy Acsente, Gheorghe Dinescu
Định dạng:	Artigo
Ngôn ngữ:	Inglês
Được phát hành:	MDPI AG 2023-07-01
Loạt:	Molecules
Những chủ đề:	mass spectrometry tungsten plasma magnetron sputtering
Truy cập trực tuyến:	https://www.mdpi.com/1420-3049/28/15/5664
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!