Автоматизированный контроль проводимости тонких пленок с использованием вихретокового метода
В статье рассмотрена возможность применения вихретокового метода неразрушающего контроля для задач измерения электропроводности тонких металлических пленок. В качестве объекта измерения использовались медные пленки различной толщины, полученные методом осаждения из газовой фазы в вакууме. Представл...
Na minha lista:
| Principais autores: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Artigo |
| Sprog: | Inglês |
| Udgivet: |
Buketov Karaganda National Research University
2024-03-01
|
| Serier: | Eurasian Physical Technical Journal |
| Fag: | |
| Online adgang: | https://phtj.buketov.edu.kz/EPTJ/article/view/906 |
| Tags: |
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
