QR Code

Автоматизированный контроль проводимости тонких пленок с использованием вихретокового метода

В статье рассмотрена возможность применения вихретокового метода неразрушающего контроля для задач измерения электропроводности тонких металлических пленок. В качестве объекта измерения использовались медные пленки различной толщины, полученные методом осаждения из газовой фазы в вакууме. Представл...

Full description

Saved in:
Main Authors: V.N. Malikov, A.V. Ishkov, S.A. Voinash, R.R. Zagidullin, L.S. Sabitov
Format: Artigo
Language:Inglês
Published: Buketov Karaganda National Research University 2024-03-01
Series:Eurasian Physical Technical Journal
Subjects:
вихретоковый преобразователь
электропроводность
тонкие пленки
медь
неразрушающий контроль
Online Access:https://phtj.buketov.edu.kz/EPTJ/article/view/906
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items