Crystal-orientation-dependent physical sputtering from four elemental metals

Physical sputtering and its dependence on crystal orientation is well-known, but crystallinity of the target is neither commonly considered in simulations nor when publishing experimental values for its yield. Due to the recent development of detector technology and therefore of crystal orientation...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	M. Balden, K. Schlueter, D. Dhard, P. Bauer, R. Nilsson, F. Granberg, K. Nordlund, G. Hobler
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	Elsevier 2023-12-01
سلاسل:	Nuclear Materials and Energy
الموضوعات:	Physical sputtering yield Crystallinity Electron backscattering diffraction (EBSD) Focused ion beam (FIB) Molecular dynamics (MD) simulations Binary collision approximation (BCA) simulations
الوصول للمادة أونلاين:	http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2352179123001989
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!