Advanced Atomic Layer Modulation Based Highly Homogeneous PtRu Precious Metals Alloy Thin Films

Abstract Atomic layer modulation (ALM) presents a novel approach for controlling the stoichiometry of platinum‐ruthenium (PtRu) alloys rather than a tedious atomic layer deposition (ALD) supercycling multielement ALD process. This method sequentially pulses dimethyl‐(N,N‐dimethyl‐3‐butene‐1‐amine‐N)...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Yeseul Son, Sang Bok Kim, Debananda Mohapatra, Taehoon Cheon, Soo‐Hyun Kim
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	Wiley 2025-08-01
سلاسل:	Advanced Science
الموضوعات:	atomic layer deposition atomic layer modulation homogeneous composition precious metals catalysis PtRu atomic alloy
الوصول للمادة أونلاين:	https://doi.org/10.1002/advs.202503561
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!