A Novel Dog-Bone Oscillating AFM Probe with Thermal Actuation and Piezoresistive Detection

In order to effectively increase the resonance frequency and the quality factor of atomic force microscope (AFM) probes, a novel oscillating probe based on a dog-bone shaped MEMS resonator was conceived, designed, fabricated and evaluated. The novel probe with 400 μm in length, 100 μm in width and 5...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ

Հիմնական հեղինակներ:	Zhuang Xiong, Estelle Mairiaux, Benjamin Walter, Marc Faucher, Lionel Buchaillot, Bernard Legrand
Ձևաչափ:	Artigo
Լեզու:	Inglês
Հրապարակվել է:	MDPI AG 2014-10-01
Շարք:	Sensors
Խորագրեր:	AFM Micromechanical resonator thermal actuation piezoresistive detection
Առցանց հասանելիություն:	http://www.mdpi.com/1424-8220/14/11/20667
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!