Performance-Enhanced Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers by PDMS Acoustic Lens Design
This paper delves into enhancing the performance of ScAlN-based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (PMUTs) through the implementation of Polydimethylsiloxane (PDMS) acoustic lenses. The PMUT, encapsulated in PDMS, underwent thorough characterization through the utilization of an indu...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2024-06-01
|
| Loạt: | Micromachines |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.mdpi.com/2072-666X/15/6/795 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|