PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILIKON MIKROKRISTAL TERHIDROGENASI DENGAN TEKNIK HWC-VHF-PECVD

<p><em>Telah dikembangkan teknik HWC-VHF-PECVD (</em>Hot Wire Cell Very High Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition<em>) untuk menumbuhkan lapisan tipis silikon mikrokristal terhidrogenasi (</em><em>m</em><em>c-Si:H). </em><em>Dari hasil penumbuhan lapisan tipis yang dilakukan, teknik H...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής

Κύριοι συγγραφείς:	Ida Usman, Darwin Ismail, Heri Sutanto, Toto Winata
Μορφή:	Artigo
Γλώσσα:	Inglês
Έκδοση:	Diponegoro University 2012-02-01
Σειρά:	Reaktor
Θέματα:	butir kristalin, teknik HWC-VHF-PECVD, c-Si:H
Διαθέσιμο Online:	http://ejournal.undip.ac.id/index.php/reaktor/article/view/1555
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!