CALCULATION OF GROWTH RATES AND COMPOSITIONS OF NANOLAYERS In_XGa_1-XAs ON A InP SUBSTRATE USING A 3D MODEL OF A HORIZONTAL MOVPE REACTOR

A three-dimensional (3D) detailed heat, mass and momentum transfer model was constructed to describe the thermal behavior, fluid dynamics and the diffusion in a horizontal metal-organic vapor-phase epitaxy (MOVPE) reactor with a rectangular section and a rotated substrate keeper with inductive heati...

முழு விளக்கம்

நூற்பட்டியல் விவரங்கள்

முதன்மை ஆசிரியர்கள்:	A. A. Gorskiy, L. B. Berliner, E. V. Titova
வடிவம்:	Artigo
மொழி:	Russo
வெளியிடப்பட்டது:	MIREA - Russian Technological University 2013-08-01
தொடர்:	Тонкие химические технологии
பொருள்கள்:	rotating substrate keeper, horizontal reactor, mocvd, movpe, 3d model, numerical studying, in<sub>x</sub>ga<sub>1-x</sub>as/inp, nanolayers.
ஆன்லைன் அணுகல்:	https://www.finechem-mirea.ru/jour/article/view/576
குறிச்சொற்கள்:	குறிச்சொல்லை சேர்க்கவும் டாக்‌ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!