Polypyrrole Porous Micro Humidity Sensor Integrated with a Ring Oscillator Circuit on Chip
This study presents the design and fabrication of a capacitive micro humidity sensor integrated with a five-stage ring oscillator circuit on chip using the complimentary metal oxide semiconductor (CMOS) process. The area of the humidity sensor chip is about 1 mm2. The humidity sensor consists of a s...
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| Principais autores: | , , |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
MDPI AG
2010-11-01
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| coleção: | Sensors |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://www.mdpi.com/1424-8220/10/11/10095/ |
| Tags: |
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