XPS исследования физико-химического состояния поверхности тонких эпитаксиальных и магнетронных слоев олова

Тонкие слои системы олово-кислород нанометровых толщин и структуры на их основе являются актуальными объектами разработок для применения в современных устройствах, например, в микроэлектронике. Миниатюризация электронных устройств, в целом, достижение эффективности энергопотребления при функциониров...

ver descrição completa

Detalhes bibliográficos

Principais autores:	Ольга Александровна Чувенкова, Николай Игоревич Бойков, Станислав Викторович Рябцев, Елена Владимировна Паринова, Ратибор Григорьевич Чумаков, Алексей Михайлович Лебедев, Дмитрий Смирнов, Анна Макарова, София Сергеевна Титова, Кирилл Александрович Фатеев, Сергей Юрьевич Турищев
Formato:	Artigo
Idioma:	Inglês
Publicado em:	Voronezh State University 2024-10-01
Colecção:	Конденсированные среды и межфазные границы
Assuntos:	олово и его оксиды физико-химическое состояние состав эпитаксиальные нанослои магнетронные нанослои рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия синхротронные исследования
Acesso em linha:	https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/12304/12421
Tags:	Adicionar Tag Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!