XPS исследования физико-химического состояния поверхности тонких эпитаксиальных и магнетронных слоев олова

Тонкие слои системы олово-кислород нанометровых толщин и структуры на их основе являются актуальными объектами разработок для применения в современных устройствах, например, в микроэлектронике. Миниатюризация электронных устройств, в целом, достижение эффективности энергопотребления при функциониров...

Full description

Bibliographic Details

Main Authors:	Ольга Александровна Чувенкова, Николай Игоревич Бойков, Станислав Викторович Рябцев, Елена Владимировна Паринова, Ратибор Григорьевич Чумаков, Алексей Михайлович Лебедев, Дмитрий Смирнов, Анна Макарова, София Сергеевна Титова, Кирилл Александрович Фатеев, Сергей Юрьевич Турищев
Format:	Artigo
Language:	Inglês
Published:	Voronezh State University 2024-10-01
Series:	Конденсированные среды и межфазные границы
Subjects:	олово и его оксиды физико-химическое состояние состав эпитаксиальные нанослои магнетронные нанослои рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия синхротронные исследования
Online Access:	https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/12304/12421
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!