Studying the Effect of Deposition Conditions on the Performance and Reliability of MEMS Gas Sensors
In this paper, the reliability of a micro-electro-mechanical system (MEMS)-based gas sensor has been investigated using Three Dimensional (3D) coupled multiphysics Finite Element (FE) analysis. The coupled field analysis involved a two-way sequential electro- thermal fields coupling and a one-way se...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI AG
2007-03-01
|
| মালা: | Sensors |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | http://www.mdpi.com/1424-8220/7/3/319/ |
| ট্যাগগুলো: |
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|