Mechanical Synchronization of MEMS Electrostatically Driven Coupled Beam Filters
Micro-electromechanical systems (MEMS) bandpass filters based on arrays of electrostatically driven coupled beams have been demonstrated at MHz frequencies. High performance follows from the high Q-factor of mechanical resonators, and electrostatic transduction allows tuning, matching and actuation....
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2021-09-01
|
| தொடர்: | Micromachines |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/2072-666X/12/10/1191 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|