কিউআর কোড

InGaAsP/InP异质结构材料组分及结构的XPS测定

采用X射线光电子能谱(XPS)对InGaAsP/InP异质结构MOCVD外延晶片作了表面薄层元素、组分定性、定量和深度分布分析。利用XPS组分定量数据与带隙和组分量数据与晶体常数的经验公式计算带隙、晶格常数和失配率,并与光压谱(PVS)测定的带隙值和X射线双晶衍射(DCD)测定的失配率作了比较,比较结果是满意的。实验和分析表明,在研究MOCVD外延膜材料表面组分和表面点阵结构方面,XPS比经典的(主要作为体相分析技术)XRD技术更为优越

সংরক্ষণ করুন:
গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক: 王典芬, 丁国庆
বিন্যাস: Artigo
ভাষা:Chinês
প্রকাশিত: 《光通信研究》编辑部 1996-01-01
মালা:Guangtongxin yanjiu
বিষয়গুলি:
অনলাইন ব্যবহার করুন:http://www.gtxyj.com.cn/thesisDetails?columnId=27503777&Fpath=home&index=0
ট্যাগগুলো: ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!