InGaAsP/InP异质结构材料组分及结构的XPS测定
采用X射线光电子能谱(XPS)对InGaAsP/InP异质结构MOCVD外延晶片作了表面薄层元素、组分定性、定量和深度分布分析。利用XPS组分定量数据与带隙和组分量数据与晶体常数的经验公式计算带隙、晶格常数和失配率,并与光压谱(PVS)测定的带隙值和X射线双晶衍射(DCD)测定的失配率作了比较,比较结果是满意的。实验和分析表明,在研究MOCVD外延膜材料表面组分和表面点阵结构方面,XPS比经典的(主要作为体相分析技术)XRD技术更为优越
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Chinês |
| প্রকাশিত: |
《光通信研究》编辑部
1996-01-01
|
| মালা: | Guangtongxin yanjiu |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | http://www.gtxyj.com.cn/thesisDetails?columnId=27503777&Fpath=home&index=0 |
| ট্যাগগুলো: |
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|
