Optimal Design of Electromagnetically Actuated MEMS Cantilevers

In this paper we present the numerical and experimental results of a design optimization of electromagnetic cantilevers. In particular, a cost-effective technique of evolutionary computing enabling the simultaneous minimization of multiple criteria is applied. A set of optimal solutions are subseque...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής

Κύριοι συγγραφείς:	Paolo Di Barba, Teodor Gotszalk, Wojciech Majstrzyk, Maria Evelina Mognaschi, Karolina Orłowska, Sławomir Wiak, Andrzej Sierakowski
Μορφή:	Artigo
Γλώσσα:	Inglês
Έκδοση:	MDPI AG 2018-08-01
Σειρά:	Sensors
Θέματα:	electromagnetically actuated cantilevers nanometrology multiobjective optimization active cantilevers SOI-based prototyping
Διαθέσιμο Online:	http://www.mdpi.com/1424-8220/18/8/2533
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!