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Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures

Micromachining is used to fabricate three-dimensional microstructures and it is the foundation of a technology called Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS). Bulk micromachining and surface micromachining are two major categories (among others) in this field. This book presents advances in micromac...

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Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo: Kahrizi, Mojtaba
Formato: Livro
Idioma:Inglês
Publicado em: IntechOpen 2012
Assuntos:
Acesso em linha:https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/65516
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