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Produção e caracterização de recobrimentos de carbono-flúor via técnica rf-PECVD a partir do gás tetrafluoretano /
[PT] Neste trabalho foram produzidos recobrimentos a base de carbono e flúor depositados a plasma por meio da técnica rf-PECVD a partir de um gás precursor de baixo custo, ambientalmente amigável e disponível no mercado nacional (tetrafluoretano, C2H2F4). As características do processo de deposição...
Uloženo v:
| Hlavní autoři: | , , |
|---|---|
| Médium: | Livro |
| Jazyk: | Português |
| Vydáno: |
UFRJ,
2017
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| Témata: | |
| On-line přístup: | https://minerva.ufrj.br/F/?func=direct&doc_number=000876945&local_base=UFR01 |
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