Produção e caracterização de recobrimentos de carbono-flúor via técnica rf-PECVD a partir do gás tetrafluoretano /

[PT] Neste trabalho foram produzidos recobrimentos a base de carbono e flúor depositados a plasma por meio da técnica rf-PECVD a partir de um gás precursor de baixo custo, ambientalmente amigável e disponível no mercado nacional (tetrafluoretano, C2H2F4). As características do processo de deposição...

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Prif Awduron: Nery, Ricardo de Pádua Oliveira Sá, Camargo Jr., Sérgio Álvaro de Souza, Universidade Federal do Rio de Janeiro.
Fformat: Livro
Iaith:Português
Cyhoeddwyd: UFRJ, 2017
Pynciau:
Engenharia metalúrgica Teses.
Carbono amorfo fluorado do tipo diamante.
Polímero depositado por plasma.
Engenharia metalúrgica.
Mynediad Ar-lein:https://minerva.ufrj.br/F/?func=direct&doc_number=000876945&local_base=UFR01
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