Đang tải...
Photoluminescence and cathodoluminescence characteristics of SiO2 and SRO films implanted with Si
Silicon rich oxide films (SRO)were obtained by silicon implantation in silicon dioxide and PE LPCVD techniques. Also, PECVD and LPCVD SRO films were implanted with silicon to get super enriched SRO. Photo- and Cathodo Luminescence (PL and CL) studies of these materials are presented. All the samp...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Superficies y vacío |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2005
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94218202 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|