Gem citationer
Citação APA (7ª ed.)
Álvarez-Macias, C., & Reyes-Betanzo, C. (2007). Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y
anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS. Revista Mexicana de Física.
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Citação do estilo Chicago (17ª ed.)
Álvarez-Macias, C., e C. Reyes-Betanzo. "Procesos De Grabado Seco De Silicio Monocristalino Con Alta Velocidad De Grabado Y
anisotropía Para Su Aplicación En La Fabricación De MEMS."
Revista Mexicana De Física 2007.
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Citação MLA (9ª ed.)
Álvarez-Macias, C., e C. Reyes-Betanzo. "Procesos De Grabado Seco De Silicio Monocristalino Con Alta Velocidad De Grabado Y
anisotropía Para Su Aplicación En La Fabricación De MEMS."
Revista Mexicana De Física, 2007.
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