Caracterización superficial y nano estructural de nano multicapas Cr/CrN obtenidas por UBM con diferentes grados de desbalance
Recubrimientos de 25 bicapas de Cr/CrN con espesores totales entre 1.32 y 1.67 micras, se depositaron por sputtering reactivo sobre silicio y sobre acero H13, en atmósferas de argón y argón mas nitrógeno. Se usó una potencia de 160 watts, flujos de argón y nitrógeno de 9 y 3 sccm respectivamente, y...
Tallennettuna:
| Julkaisussa: | Revista Mexicana de Física |
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| Päätekijät: | , , |
| Aineistotyyppi: | Artigo |
| Kieli: | Espanhol |
| Julkaistu: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2013
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| Aiheet: | |
| Linkit: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57025669003 |
| Tagit: |
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