Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares
En este trabajo se estudia la utilización de grabado anisotrópico y SRO con la finalidad de mejorar el rendimiento de las guías de onda coplanares. Se presentan resultados experimentales de grabado seco de silicio monocristalino para su aplicación en la fabricación de guías de onda coplanares (CPW's...
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| Publicat a: | Revista Mexicana de Física |
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| Autors principals: | , , , , , |
| Format: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicat: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2010
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| Accés en línia: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57016003014 |
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