Fabricación y caracterización de películas de dióxido de vanadio (vo2) depositadas por sputtering con corriente continua pulsada
En el presente artículo se muestra cómo se crecieron y estudiaron películas delgadas de dióxido de vanadio sobre substratos de vidrio y zafiro mediante la técnica de “sputtering” con corriente continua (cc) pulsado. Obtener la composición y estructura cristalina correctas requirió explorar un rango...
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| Publié dans: | PROSPECTIVA |
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| Auteurs principaux: | , , , , |
| Format: | Artigo |
| Langue: | Espanhol |
| Publié: |
Universidad Autónoma del Caribe
2021
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| Sujets: | |
| Accès en ligne: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=496282721008 |
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