Ładuje się......
Integrating Resonator to Enhance Magnetometer Microelectromechanical System Implementation with ASIC Compatible CMOS 0.18 μm Process
In this study, a multi-function microelectromechanical system (MEMS) was integrated with a MEMS oscillator, using the resonant frequency oscillation characteristics of the oscillator to provide the Lorentz current of the magnetometer to enhance a large dynamic range of reading, which eliminates the...
Zapisane w:
| Wydane w: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
MDPI
2021
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8227563/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/34072537 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi12060635 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|