تحميل...
Magnification inferred curvature for real-time curvature monitoring
The in situ and real-time measurement of curvature changes of optically reflecting surfaces is a key element to better control bottom-up fabrication processes in the semiconductor industry, but also to follow or adjust mirror deformations during fabrication and use for space or optics industries. De...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | Sci Rep |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
Nature Publishing Group UK
2021
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8087714/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33931683 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/s41598-021-88722-6 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|