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MEMS-Based Pulse Wave Sensor Utilizing a Piezoresistive Cantilever

This paper reports on a microelectromechanical systems (MEMS)-based sensor for pulse wave measurement. The sensor consists of an air chamber with a thin membrane and a 300-nm thick piezoresistive cantilever placed inside the chamber. When the membrane of the chamber is in contact with the skin above...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Sensors (Basel)
Hauptverfasser: Nguyen, Thanh-Vinh, Mizuki, Yuya, Tsukagoshi, Takuya, Takahata, Tomoyuki, Ichiki, Masaaki, Shimoyama, Isao
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: MDPI 2020
Schlagworte:
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7070847/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32075243
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20041052
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