تحميل...

Integrated Piezoelectric AlN Thin Film with SU-8/PDMS Supporting Layer for Flexible Sensor Array

This research focuses on the development of a flexible tactile sensor array consisting of aluminum nitride (AlN) based on micro-electro-mechanical system (MEMS) technology. A total of 2304 tactile sensors were integrated into a small area of 2.5 × 2.5 cm(2). Five hundred nm thick AlN film with stron...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Sensors (Basel)
المؤلفون الرئيسيون: Yeo, Hong Goo, Jung, Joontaek, Sim, Minkyung, Jang, Jae Eun, Choi, Hongsoo
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: MDPI 2020
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6982933/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31935913
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20010315
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!