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Three-to-One Internal Resonance in MEMS Arch Resonators

We present an investigation of the nonlinear dynamics of a microelectromechanical system (MEMS) arch subjected to a combination of AC and DC loadings in the presence of three-to-one internal resonance. The axial force resulting from the residual stress or temperature variation is considered in the g...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Sensors (Basel)
Hauptverfasser: Wang, Ze, Ren, Jianting
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: MDPI 2019
Schlagworte:
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6515359/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31010047
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s19081888
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