Monolithic ultrasound fingerprint sensor

This paper presents a 591×438-DPI ultrasonic fingerprint sensor. The sensor is based on a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) array that is bonded at wafer-level to complementary metal oxide semiconductor (CMOS) signal processing electronics to produce a pulse-echo ultrasonic im...

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Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Microsyst Nanoeng
Hauptverfasser: Jiang, Xiaoyue, Lu, Yipeng, Tang, Hao-Yen, Tsai, Julius M., Ng, Eldwin J., Daneman, Michael J., Boser, Bernhard E., Horsley, David A.
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: Nature Publishing Group 2017
Schlagworte:
Article
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6445013/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31057884
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/micronano.2017.59
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