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Scanning MEMS Mirror for High Definition and High Frame Rate Lissajous Patterns

Scanning MEMS (micro-electro-mechanical system) mirrors are attractive given their potential use in a diverse array of laser scanning display and imaging applications. Here we report on an electrostatic MEMS mirror for high definition and high frame rate (HDHF) Lissajous scanning. The MEMS mirror co...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Micromachines (Basel)
Hauptverfasser: Seo, Yeong-Hyeon, Hwang, Kyungmin, Kim, Hyunwoo, Jeong, Ki-Hun
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: MDPI 2019
Schlagworte:
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6356757/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30669314
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10010067
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