Barnes, B., Henn, M., Sohn, M. Y., Zhou, H., & Silver, R. M. (2016). Enabling Quantitative Optical Imaging for In-die-capable Critical Dimension Targets. Proc SPIE Int Soc Opt Eng.
Citación estilo ChicagoBarnes, B.M., M.-A Henn, M. Y. Sohn, H. Zhou, and R. M. Silver. "Enabling Quantitative Optical Imaging for In-die-capable Critical Dimension Targets." Proc SPIE Int Soc Opt Eng 2016.
Cita MLABarnes, B.M., et al. "Enabling Quantitative Optical Imaging for In-die-capable Critical Dimension Targets." Proc SPIE Int Soc Opt Eng 2016.
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