Ładuje się......
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
Atomic layer deposition (ALD) is a commercially utilized deposition method for electronic materials. ALD growth of thin films offers thickness control and conformality by taking advantage of self-limiting reactions between vapor-phase precursors and the growing film. Perovskite oxides present potent...
Zapisane w:
| Wydane w: | J Vis Exp |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
MyJove Corporation
2016
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5091695/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/27501462 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3791/54268 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|