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Hard Transparent Arrays for Polymer Pen Lithography

Patterning nanoscale features across macroscopic areas is challenging due to the vast range of length scales that must be addressed. With polymer pen lithography, arrays of thousands of elastomeric pyramidal pens can be used to write features across centimeter-scales, but deformation of the soft pen...

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:ACS Nano
Main Authors: Hedrick, James L., Brown, Keith A., Kluender, Edward J., Cabezas, Maria D., Chen, Peng-Cheng, Mirkin, Chad A.
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: 2016
Assuntos:
Acesso em linha:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4888776/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26928012
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1021/acsnano.6b00528
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