Cordill, M. J., Glushko, O., Kreith, J., Marx, V., & Kirchlechner, C. (2015). Measuring electro-mechanical properties of thin films on polymer substrates. Microelectron Eng.
Citação norma ChicagoCordill, Megan J., O. Glushko, J. Kreith, V.M Marx, and C. Kirchlechner. "Measuring Electro-mechanical Properties of Thin Films On Polymer Substrates." Microelectron Eng 2015.
Citação norma MLACordill, Megan J., et al. "Measuring Electro-mechanical Properties of Thin Films On Polymer Substrates." Microelectron Eng 2015.
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