Spin-Cast and Patterned Organo-Phosphonate Self-Assembled Monolayer Dielectrics on Metal Oxide Activated Si

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Auteurs principaux: Acton, Orb, Hutchins, Daniel, Árnadóttir, Líney, Weidner, Tobias, Cernetic, Nathan, Ting, Guy G., Kim, Tae-Wook, Castner, David G., Ma, Hong, Jen, Alex K.-Y.
Format: Artigo
Langue:Inglês
Publié: 2011
Sujets:
Article
Accès en ligne:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3824967/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/21438035
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1002/adma.201004762
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