Ładuje się......
Porous silicon bulk acoustic wave resonator with integrated transducer
We report that porous silicon acoustic Bragg reflectors and AlN-based transducers can be successfully combined and processed in a commercial solidly mounted resonator production line. The resulting device takes advantage of the unique acoustic properties of porous silicon in order to form a monolith...
Zapisane w:
| Główni autorzy: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
Springer
2012
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3508590/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/22776697 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/1556-276X-7-378 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|