Đang tải...
Wafer Scale Integration of CMOS Chips for Biomedical Applications via Self-Aligned Masking
This paper presents a novel technique for the integration of small CMOS chips into a large area substrate. A key component of the technique is the CMOS chip based self-aligned masking. This allows for the fabrication of sockets in wafers that are at most 5 µm larger than the chip on each side. The c...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
2011
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3293476/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/22400126 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1109/TCPMT.2011.2166395 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|